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基于豐富的產(chǎn)品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉(zhuǎn)型。 -
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集團成員
ENVA5204_3軸真空圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
產(chǎn)品描述
3軸真空圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
VA5204_VA系列半導體機器人
- ● 可根據(jù)設(shè)備布局定制臂長及Z軸行程
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 末端執(zhí)行器類型：下托式
- ● 可選配免電池絕對式編碼器
臂長
520mm
額定/最大負載
2kg
搬運物
≤Φ300mm晶圓
關(guān)鍵詞：
新時達眾為興VA5204_3軸真空圓柱坐標單臂晶圓搬運機器人
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